復(fù)合式影像測(cè)量詳細(xì)介紹

隨著Hexagon計(jì)量產(chǎn)業(yè)集團(tuán)成功發(fā)布其Optiv復(fù)合式影像測(cè)量產(chǎn)品線，通過融合包括激光測(cè)量(Focus/Measuring Laser Sensor)、色階白光測(cè)量(Chromatic White-Light Sensor)、白點(diǎn)微米測(cè)頭(White Point microprobe)、雙Z軸(Dual Z axes)等技術(shù)在內(nèi)的高新技術(shù)為一體，為精密、微型、薄軟零部件為代表零部件提供了復(fù)合的測(cè)量解決方案。

下面，我們將為大家具體介紹一下復(fù)合影像技術(shù)和其功能優(yōu)勢(shì)：

復(fù)合測(cè)量(Multi-Sensor)：

顧名思義就是把幾種不同性質(zhì)的測(cè)量方式集合在同一平臺(tái)，復(fù)合式的概念并不是在影像的基礎(chǔ)上簡(jiǎn)單的加一個(gè)接觸測(cè)頭或激光測(cè)頭，Optiv 測(cè)量系統(tǒng)可以集影像、激光、白光掃描和接觸測(cè)量、白點(diǎn)微米測(cè)頭等檢測(cè)手段于一體，并將各種傳感器**的結(jié)合，以應(yīng)對(duì)完成所有類型尺寸形狀測(cè)量和逆向工程應(yīng)用的需求。

激光測(cè)量(Focus/Measuring Laser Sensor)：

Optiv激光測(cè)量采用的是單點(diǎn)固定波長激光進(jìn)行測(cè)量，非線激光，可以實(shí)現(xiàn)單點(diǎn)測(cè)量：比如測(cè)量高度；也可實(shí)現(xiàn)斜面曲面掃描，完成逆向工程。

Optiv激光測(cè)量采用傅科激光原理，有以下特點(diǎn)：

采用傅科激光測(cè)量，并非是普通的三角法，普通的三角法測(cè)量激光發(fā)射和接收角度為35-70度，Optiv 角度為1-2度，因此對(duì)深孔和小孔、斜面曲面的測(cè)量能力更強(qiáng)，檢測(cè)傾角可達(dá)87°- 88°，在復(fù)合測(cè)量業(yè)界強(qiáng)

測(cè)量精度高，可達(dá)1 微米左右

聚焦速度0.2秒/次，一般的光學(xué)聚焦需要2-3秒/次，在所有競(jìng)爭(zhēng)對(duì)手中速度快

激光分辨率0.1 微米

激光通過鏡頭，為TTL(Through the Lens)同軸激光

機(jī)器控制Z軸運(yùn)動(dòng)，激光點(diǎn)總是處于聚焦位置，實(shí)現(xiàn)準(zhǔn)確斜面、曲面掃描

掃描速度>500點(diǎn)/秒

采用固定波長激光

應(yīng)用領(lǐng)域：

航空航天、塑膠、模具、高精度逆向工程等領(lǐng)域

典型應(yīng)用案例：

美德福(世界上大的硬盤代工廠家之一)需要測(cè)量硬盤上粘附的硅膠高度。傳統(tǒng)的測(cè)量方法為采用光學(xué)聚焦的方法進(jìn)行測(cè)量，但是因?yàn)?font face="Times New Roman">2S/次的聚集速度偏慢，使得測(cè)量效率難以提高。采用Optiv激光測(cè)量可以實(shí)現(xiàn)0.2S/次聚焦速度，大大提高了測(cè)量效率，為我們后期的運(yùn)作贏得了主動(dòng)。

色階白光測(cè)量 (Chromatic White-Light Sensor)：

采用共聚焦成像原理。共焦測(cè)量法主要由共軛成像系統(tǒng)組成，光源、零件物點(diǎn)和CCD處于彼此對(duì)應(yīng)的共軛位置。測(cè)量時(shí)聚焦點(diǎn)自動(dòng)跟蹤清晰位置的零件表面，成像在CCD上，并且通過一組光組將自然光(白光)分成單色光，從而可以準(zhǔn)確清晰的分辨出零件的表面形貌。

CWS 測(cè)量

下表為Optiv CWS可選擇的測(cè)頭及對(duì)應(yīng)的技術(shù)參數(shù)

CWS測(cè)頭 10 mm 3 mm 600 ?m 300 ?m

工作距離 75 mm 22.5 mm 6.5 mm 4.5 mm

Z方向分辨率 300nm 100nm 20nm 10 nm

CWS 白點(diǎn)直徑 25 ?m 12 ?m 4 ?m 5 ?m

應(yīng)用：

共焦成像測(cè)量技術(shù)由于其高精度、高分辨率及獨(dú)特的軸向?qū)游龀上衲芰υ阽R面材料(光學(xué)器件)、半導(dǎo)體、印刷、紡織、金屬材料研究、高分子材料研究、信息存儲(chǔ)、工程表面測(cè)量、刑偵、醫(yī)學(xué)檢測(cè)以及生命科學(xué)研究等領(lǐng)域得到了廣泛地應(yīng)用。對(duì)于這些領(lǐng)域，CWS測(cè)量手段都能找到用武之地。

典型應(yīng)用案例：

Optiv CWS幫助德國concentrix solar公司(世界太陽能發(fā)電領(lǐng)域的***)測(cè)量太陽能電池板聚光鏡。

影像測(cè)量聚光鏡的位置，CWS測(cè)量聚光鏡的輪廓

白點(diǎn)測(cè)頭 (White Point microprobe)：

此項(xiàng)技術(shù)為Optiv Reference 機(jī)器專用(前Mycrona機(jī)器)。

白點(diǎn)微米級(jí)測(cè)頭，可實(shí)現(xiàn)非接觸測(cè)量

測(cè)頭直徑僅35 微米

35 微米直徑的白點(diǎn)測(cè)頭可以通過快速鎖定和釋放系統(tǒng)更換，其內(nèi)部與靈活的光線相連接

光束與軸向成 90°發(fā)出可以測(cè)量微孔的內(nèi)壁，并可進(jìn)行水平 360°旋轉(zhuǎn)

分辨率高可達(dá)1 納米

2D測(cè)量精度高達(dá)0.28 微米

應(yīng)用領(lǐng)域：

航空航天、汽車、精密加工。

典型應(yīng)用案例：

博世汽車噴油嘴測(cè)量

0.130 mm直徑圓孔分析

雙Z軸(Dual Z axes)：

**的Optiv機(jī)型應(yīng)用了先進(jìn)的雙Z軸設(shè)計(jì)

通過**個(gè)Z軸，用戶能夠在一個(gè)程序中輕松實(shí)現(xiàn)兩維影像和三維觸發(fā)式測(cè)量，PC-DMIS Vision軟件能夠有效實(shí)現(xiàn)來自不同傳感器的測(cè)量數(shù)據(jù)整合

利用雙Z軸設(shè)計(jì)，使得Optiv測(cè)量系統(tǒng)能夠大限度的接近測(cè)量實(shí)體，并可通過一次設(shè)置，完成各種特征的測(cè)量，與其他常規(guī)測(cè)量設(shè)備相比Optiv 更加有效的縮短了測(cè)量周期

雙Z軸設(shè)計(jì)使不同傳感器之間有更大的測(cè)量空間，使得旋轉(zhuǎn)式接觸測(cè)頭可以發(fā)揮更大的測(cè)量空間

Optiv眾多新技術(shù)的出現(xiàn)，使其在復(fù)合影象測(cè)量領(lǐng)域占據(jù)著重要位置，為客戶提供更加**、完善的計(jì)量解決方案，提升公司的技術(shù)水平，同時(shí)也將為公司的發(fā)展做出更大的貢獻(xiàn)。